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F23 RG-LBC系列低本底α β计数器
技术参数●坪区：α
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F31 RG-ALPHAsp 系列 α 谱仪
技术参数● 探测器有效面积：300mm²-1200mm²；● 测量能量范围：3keV-10MkeV;● 真空范围：130 Pa~2600Pa;● 样品最大尺寸(直径):51
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F32 Alpha suite 单路至八路α谱仪
技术参数● 真空室结构：铜制，镀镍便于去污；● 最大样品尺寸：Aria Duo:51 mm；Mega:106mm;● 样品-探测器最大距离：44 mm, 步进4m
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F33 8210A 大面积屏栅电离室
技术参数● 有效样品面积：250mm(200×254m，拆下圆盘);● 能量分辨率：<50 keV FWHM 230Th，4 7 MeV;● 热噪音：30 keV FWHM;●
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F34 RG-EP4 电沉积仪
技术参数● 输入电压：220V10%;● 输入频率：50Hz10%;● 电源输出电压：0~30V可调；● 功率：<100W;● 每路电解电流可调(0 1～3A),
